第一部分 ESD職業(yè)技術知識
第1章 靜電基本概念
1.1 靜電的定義與不同類型的電
1.1.1 靜電具有的特點
1.1.2 幾種常見的靜電物理量綱及換算
1.2 靜電的產(chǎn)生
1.2.1 固體起電
1.2.1.1 固體接觸摩擦分離起電
1.2.1.2 物體膠粘剝離起電
1.2.2 靜電感應起電
1.2.3 粉體起電
1.2.4 絕緣液體起電
1.2.4.1 絕緣液體的偶電層
1.2.4.2 流動帶電
1.3 靜電場
1.3.1 電場強度
1.3.2 靜電電壓、靜電電位
1.4 靜電屏蔽、導靜電、靜電耗散、靜電絕緣材料的劃分
1.4.1 導靜電和靜電屏蔽材料
1.4.2 靜電耗散材料
1.4.3 靜電絕緣材料
1.5 摩擦分離起電的極性排列與低起靜電材料（抗靜電材料）
1.6 靜電屏蔽
第2章 電子工業(yè)中的靜電問題
2.1 靜電效應與靜電對微電子制造業(yè)的危害
2.1.1 靜電效應
2.1.1.1 靜電荷產(chǎn)生的電場力
2.1.1.2 靜電放電（ESD）
2.1.1.3 靜電電場感應
2.1.2 靜電對微電子制造業(yè)的危害形式
2.1.2.1 吸附塵埃
2.1.2.2 靜電放電及產(chǎn)生的寬帶電磁脈沖效應
2.1.2.3 靜電場感應及放電
2.2 靜電放電敏感器件（SSD或ESDS器件）
2.2.1 器件ESD損傷失效模式
2.2.1.1 突發(fā)性完全失效
2.2.1.2 潛在性緩慢失效
2.2.1.3 常見的靜電放電損傷的失效模式
2.2.1.4 靜電放電損傷的失效現(xiàn)象
2.2.1.5 SSD靜電損傷機理
2.2.2 SSD的分級 2.3 電子工業(yè)靜電損害事例及統(tǒng)計
2.3.1 電子器件損失統(tǒng)計
2.3.2 典型事例
2.4 電子生產(chǎn)、使用環(huán)境中的靜電源與靜電防護場所
2.4.1 人體靜電與人體用品
2.4.1.1 人體靜電的起電方式
2.4.1.2 人體用品
2.4.2 樹脂、浸漆封裝表面
2.4.3 各種包裝容器、物流傳遞用品和傳輸帶（線）
2.4.4 各類工作表面、工具（包括氣動工具、吸錫器等）
2.4.5 裝配、清洗、試驗和修理過程
2.4.6 各種絕緣地面
2.4.7 生產(chǎn)、裝聯(lián)、焊接、檢驗、高低溫處理等設備
2.4.8 接地系統(tǒng)和電源
2.4.9 生產(chǎn)、存儲環(huán)境中的絕緣物和對地絕緣的不等電位導體
2.4.10 環(huán)境電磁場
2.4.11 有靜電防護要求的場所
第3章 靜電防護原理
3.1 靜電耗散、泄漏、等電位接地
3.1.1 靜電耗散、泄漏、等電位接地一般要求
3.1.2 耗散與接地的特殊情況
3.1.3 防靜電材料（裝備）使用中的安全問題
3.1.4 防靜電材料功能上的區(qū)分
3.2 靜電中和
3.3 靜電屏蔽與接地
3.4 環(huán)境增濕
3.5 電子產(chǎn)品ESD的防護設計
3.5.1 SSD ESD保護電路的設置
3.5.1.1 SSD和混合集成電路的保護電路設計注意事項
3.5.1.2 SSD組件保護電路設計的注意事項
3.5.1.3 常用的幾種保護電路
3.5.1.4 HCMOS（高速CMOS）輸入端的保護結構
3.5.2 電子設備的ESD防護
3.5.2.1 輸入/輸出電纜的處理
3.5.2.2 鍵盤和控制面板
3.5.2.3 電路設計和印制電路板（PCB）布線設
3.5.2.4 儀器電路結構設計
防靜電工作區(qū)構成、標準體系管理與系統(tǒng)檢測
第4章 防靜電工作區(qū)（EPA）的構成和技術要求
4.1 EPA的構成
4.1.1 EPA定義和總體技術要求
4.1.2 EPA硬件組成和要求
4.1.3 軟件與管理方面要求
4.1.4 在EPA內防靜電用品、裝聯(lián)生產(chǎn)設備、特殊裝備（車輛、航空器）的要求
4.1.4.1 人體靜電防護用品
4.1.4.2 防靜電包裝類（周轉容器）
4.1.4.3 傳輸帶（線）
4.1.4.4 運轉車、存放柜（架）、工作椅、工作臺（桌）
4.1.4.5 工位器具（架）、操作工具（刷子、鑷子等）
4.1.4.6 墻壁和天花板
4.1.4.7 窗簾、抹布、粘塵墊
4.1.4.8動力工具、吸錫器、焊接設備（烙鐵）
4.1.4.9 各類生產(chǎn)裝聯(lián)設備和對地絕緣的金屬體
4.1.4.10 防靜電地坪
4.1.4.11 離子（化）靜電消除器及使用
4.1.4.12 防靜電劑及使用
4.1.4.13 各類裝備（通信車輛、航空器等）防靜電的要求
4.1.5 EPA環(huán)境要求
4.2 EPA內的接地與防雷
4.2.1 安全保護接地
4.2.2 工作接地
4.2.3 重復接地
4.2.4 中性點、零點和中性線、零線
4.2.5 屏蔽接地
4.2.6 直流接地
4.2.7 信號接地
4.2.8 防靜電接地
4.2.9 常用接地方式
4.2.10 EPA防雷接地與防雷設計
4.2.10.1 防雷接地
4.2.10.2 EPA內防雷設計
4.2.11 EPA防靜電接地及與其它接地的關系
4.2.11.1 EPA防靜電接地要求
4.2.11.2 單獨防靜電接地極的埋設案例
4.2.12 EPA內接地注意事項
4.3 EPA標識
4.4 構建EPA時常見的問題
第5章 EPA的防靜電工藝與質量管理
5.1 EPA的防靜電工藝及要求 5.1.2 固定崗位的工藝要求
5.1.3 流動崗位的防靜電工藝要求
5.1.4工件流動狀態(tài)的防靜電工藝要求
5.1.5售后服務中的防靜電工藝要求
5.1.6 生產(chǎn)主要環(huán)節(jié)的防靜電工藝要求
5.2 EPA的質量管理與企業(yè)ESD防護培訓
5.2.1 靜電分析
5.2.2 EPA的管理要求
第6章 EPA防靜電系統(tǒng)的檢驗
6.1 電阻的測試與電阻率的計算
6.1.1 電阻和電阻率的定義
6.1.2 電阻測試原理
6.1.2.1 恒壓比較法
6.1.2.2 伏安法
6.1.2.3 搖表法
6.1.2.4 接地電阻測試
6.1.3 常用幾種測試電極
6.1.3.1 點對點電阻、系統(tǒng)電阻（靜電泄漏電阻）測試電極
6.1.3.2 表面電阻、體積電阻測試電極
6.1.4 電阻測試與表面、體積電阻率計算
6.1.4.1 點對點電阻和靜電泄漏電阻的測試
6.1.4.2 表面、體積電阻測試和電阻率的計算
6.1.4.3 接地電阻的測量
6.1.5 測試電阻時的注意事項
6.1.5.1 影響電阻測試的因素和注意事項
6.2 靜電電壓衰減時間的測試
6.2.1 靜電電壓衰減時間（期）的定義
6.2.2 靜電電壓衰減時間測試原理
6.2.3 靜電電壓衰減時間（期）測試注意事項
6.3 靜電屏蔽性能的檢測
6.3.1 檢測儀器和測試原理
6.3.2 測試注意事項
6.4 摩擦起電電壓與EPA系統(tǒng)靜電電位（電壓）測試
6.4.1 EPA系統(tǒng)靜電電位（電壓）測試
6.4.1.1 導體靜電電壓測試
6.4.1.2 非接觸式測試絕緣、導體表面靜電電位（電壓）
6.4.1.3 靜電電壓表使用方法及注意事項
6.4.2 摩擦起電電壓測試
6.4.2.1 工作表面（桌墊、板材等）摩擦起電電壓測試
6.4.2.2 織物摩擦起電測試
6.4.2.3 其他一些測試方法
6.5 靜電電量測試與計算
6.5.1 測試要求
6.5.2 靜電電量計算
6.6 各類防靜電產(chǎn)品（材料）、工程的測試和時效檢驗
6.6.1 腕帶
6.6.2 EPA內人體接地電阻測試
6.6.3 防靜電鞋、導電鞋電阻的測試
6.6.4 手套（指套）、帽、襪、鞋束、工具（刷）、氣動工具的電阻測試
6.6.5 防靜電工作服的測試
6.6.6 集成電路防靜電包裝管的測試
6.6.7 柔韌性包裝類（包括發(fā)泡墊、海綿類）和周轉容器的測試
6.6.8 窗簾的測試
6.6.9 墻面靜電泄漏電阻的測試
6.6.10 防靜電液、蠟表面電阻的測試
6.6.11 坐椅、工作臺、運轉車電阻的測試
6.6.12 地面、地墊的測試
6.6.13 離子靜電消除器消除靜電性能的測試方法
6.6.14 傳輸帶靜電泄漏電阻的測試
6.6.15 接地吸錫器、電烙鐵焊頭電阻的測試
6.6.16 檢測時常出現(xiàn)的不規(guī)范或錯誤的測試方法
6.6.17 防靜電產(chǎn)品和工程的時效檢驗
第7章 靜電放電模型與器件、設備的 ESD敏感度測試
7.1 靜電放電模型與ESD敏感度測試
7.1.1 人體模型（HBM）
7.1.1.1 試驗設備
7.1.1.2 試驗波形
7.1.1.3 測量儀器
7.1.2 機器模型（MM）
7.1.2.1 圖7.4波形的說明
7.1.2.2 圖7.5波形的說明
7.1.3 帶電器件模型（CDM）
7.1.4 帶電電路板模型
7.1.5 人體－金屬ESD模擬器
7.1.6 家具ESD模型
7.1.7 幾種廣泛應用的ESD模型的對比
7.1.8 設備的ESD試驗
7.1.8.1 SSD設備的試驗
7.1.8.2 SSD組件的靜電放電抗擾度試驗
7.2 靜電放電模擬器簡介
7.2.1 ESD模擬器的放電方式
7.2.1.1 空氣放電方式
7.2.1.2 接觸放電方式
7.2.1.3 帶電器件ESD模擬器
7.2.2 常用ESD模擬器介紹
7.2.2.1 NSG435 ESD模擬器（設備試驗用）
7.2.2.2 ESS—606A模擬器（器件試驗用）
7.2.2.3 Orion模擬器
7.2.3 放電試驗注意事項
7.2.3.1 HBM試驗
7.2.3.2 MM試驗
7.2.3.3 CDM試驗
第二部分 防靜電體系ESD內審員
第8章
8.1 認證基本要求和范圍
8.1.1認證目的
8.1.2認證范圍
8.1.3認證要求
8.1.4認證指導
8.1.5修改
8.2認證項目和具體要求
8.2.1職工培訓要求
8.2.2SSD敏感度分級和標志要求
8.2.3EPA接地審查要求
8.2.4人員安全審查要求
8.2.5人員接地審查要求
8.2.6防靜電工作區(qū)（EPA）審查要求
8.2.7管理與質量體系審查要求
8.3認證評審程序與評審結論
8.3.1評審規(guī)定與結論
8.3.2防靜電系統(tǒng)審查及評審表填寫 |
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